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管式爐(CVD管式爐）
管式爐(CVD管式爐）
FGL（RTP）系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)
滑軌式管式爐一體化結構設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
特點
1、工作溫度RT～1000℃。
2、智能程序控溫儀控制精準,可編輯、儲存并調用多段程序。
3、采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內嵌式環繞加熱。
4、爐殼結構，雙層爐殼風冷結構。
5、不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣美標針閥。
6、兩端可調節式法蘭支撐結構，延長石英管的使用壽命。
7、溫度過高保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電。
8、安全保護當爐體漏電時自動斷電。
額外選配 爐內測量系統（氧含量檢測系統、溫度檢測系統）；
真空系統（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；
氣氛系統（浮子流量計、質量流量計）；
監控系統：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控）；
注：選件需配置拓展柜體；
技術參數
|
設備型號 |
設計溫度 |
管徑 |
加熱區 |
溫區數 |
熱電偶 |
電壓 |
功率 |
|
FGL(RTP)-40/11/1 |
1100℃ |
40mm |
320 mm |
1個 |
K型 |
220V |
3.0KW |
|
FGL(RTP)-50/11/1 |
1100℃ |
50mm |
320 mm |
1個 |
K型 |
220V |
|
|
FGL(RTP)-60/11/1 |
1100℃ |
60mm |
320 mm |
1個 |
K型 |
220V |
|
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FGL(RTP)-80/11/1 |
1100℃ |
80mm |
320 mm |
1個 |
K型 |
220V |
注：給出的最高溫度為工作管外測定，其它溫區個數和加熱區長度可根據客戶工藝要求定制。
網址： www.elvisrecord.com
銷售熱線：0551-6899 8684,139 6671 8548 方先生
